摘要: 随着大尺寸面阵CCD需求增多,一些新研制的CCD产品中靶面与机械安装定位面有较大夹角误差问题,而CCD产品技术说明中不给出相应数据.介绍一种非接触式光学检测方法,并以实例从原理到操作方法及最后的数据处理作了详细的介绍.其作为新购置CCD产品参数的一种检测方法,避免了CCD与光学系统装调完成后图像虚实同时存在的问题.