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光刻技术在铟柱制备工艺中的应用研究

The Application of photolithography in Indium Bump Fabrication

    摘要
  • 摘要: 简要介绍了光刻在128×128混合式非制冷热释电焦平面(UFPA)探测器制作中的重要地位,重点介绍了光刻在铟柱制备中的应用研究.对铟柱成形的几种方法进行了比较,确定了剥离法制备铟柱.并进行了光刻实验与分析,得到了满足128×128混合式非制冷热释电焦平面器件倒装互连的铟柱.

     

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