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MOVPE-HgCdTe薄膜掺杂研究的进展

Progress in Incorporation of MOVPE-HgCdTe Films

    摘要
  • 摘要: MOVPE是生长HgCdTe薄膜的主要技术之一,它可以灵活地控制掺杂浓度和原位生长高性能的p-n异质结和双异质结双波段p-n-N-P的HgCdTe薄膜.文中还简要介绍近年在MOVPE-HgCdTe薄膜的掺杂研究中,施主掺杂和受主掺杂的研究情况以及取得的最新近展.EI和DMAAs分别是广泛采用的施主和受主掺杂剂.

     

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